物 理 学 报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 1 (2013) 018104氧化法结合快速热处理制备VOx薄膜及其性质研究*高旺 胡明后顺保 吕志军 武斌采用磁控溅射法在单晶Si 100 基底上沉积金属钒 (V) 薄膜, 在高纯氧环境下快速热处理制备具有相变特性的氧化钒(VOx)薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱和扫描电子显微镜对薄膜结晶结构、薄膜中V的价态与组分及表面微观形貌进行分析,应用四探针测试方法和太赫兹时域频谱技术(THz-TDS)对样品的电学和光学特性进行测试.结果表明:在一定范围的快速热处理保温温度和保温时间下,都可以制备出具有热致相变特性的氧化钒薄膜,相变前后薄膜的方块电阻变化超过两个数量级,薄膜成分主要由V2O5和VO2混合组成,薄膜中V整体价态不因热处理条件改变而不同.

    残余应力一般是有害的，特别是表面层中具有残余拉应力的愉况。但当表面层具有残余压应力时，反而可以增加使用性能。例如轧辊表面淬火、零件喷丸加工、表面滚压、表面诊破、诊氮等。经上述处理后，零件内的残余应力分布如图2-30所示.表面层附近有很大的残余压应力.可以明显提高材料的硬度与杭应劳强度，提高零件的使用专命.喷雾干燥机消除制品内的残余应力一般有两种方法:热处理法及机械处理法。

    (1)热处理法。热处理法是较彻底的清除残余应力的方法，

即采用去应力退火;*类残余应力一般在回复祖度下便可以大部分消除，而制品的硬化状奋不里影响:第二类残余应力在遇火沮度接近再结晶祖度时也可完全消除;至子第三类残余应力.因为存在子晶拉内部，只有充分再结晶后才可能消举二章食几的宜性和立性交形除。例如普通黄栩在40一,40t只能消除很少一部分残余应力，在200%附近能消除大部分，其余的摇经过再结品才能消除。

    用热处理法消除残余应力.尤其是较高祖度下的退火.虽然残余应力悄除了.但制品的晶杖明且长大，并有损金月的力学性能。此外，热处理法也只有在别品允许退火时才能果用。对千不允许退火的制品。如双金脚、摔火制品等，为了消除因变形所产生的形状m扭.喇皮采用机被处理法。

    (2)机械处理法。这种方法是使制品表面再产生一些表面变形，使残余应力得到一定程度的释放和松弛.成者使之产生新的附加应力，以抵消创品内的残余应力或尽.减少共数值。例如.用木扭徽打表面或喧丸加工;对管棒材采用多辊校直‘板材采用表面帐压及小变形里的拉伸布在冲模内作表面校形等。